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      真空泵選型

      如何選用真空泵

      日期:2020-05-26 09:09:26      作者:煙臺沃爾姆真空技術有限公司

      選用真空泵時,需要注意下列事項:

      1、真空泵的工作壓強應該滿足真空設備的極限真空及工作壓強要求。如:真空鍍膜要求1×10-5mmHg的真空度,選用真空泵的真空度至少要5×10-6mmHg。通常選擇真空泵的真空度要高于真空設備真空度半個到一個數量級。

      2、正確地選擇真空泵的工作點。每種泵都有一定的工作壓強范圍,如:擴散泵為10-3~10-7mmHg,在這樣寬壓強范圍內,泵的抽速隨壓強而變化,其穩定的工作壓強范圍為5×10-4~5×10-6mmHg。因而,泵的工作點應該選在這個范圍之內,而不能讓它在10-8mmHg下長期工作。又如鈦升華泵可以在10-2mmHg下工作,但其工作壓強應小于1×10-5mmHg為好。

      3、真空泵在其工作壓強下,應能排走真空設備工藝過程中產生的全部體量。

      4、正確地組合真空泵。由于真空泵有選擇性抽氣,因而,有時選用一種泵不能滿足 抽氣要求,需要幾種泵組合起來,互相補充才能滿足抽氣要求。如鈦升華泵對氫有很高的抽速,但不能抽氦,而三極型濺射離子泵,(或二極型非對稱陰極濺射離子泵)對氬有一定的抽速,兩者組合起來,便會使真空裝置得到較好的真空度。另外,有的真空泵不能在大氣壓下工作,需要預真空;有的真空泵出口壓強低于大氣 壓,需要前級泵,故都需要把泵組合起來使用。

      5、真空設備對油污染的要求。若設備嚴格要求無油時,應該選各種無油泵,如:水環泵、分子篩吸附泵、濺射離子泵、低溫泵等。如果要求不嚴格,可以選擇有油泵,加上一些防油污染措施,如加冷阱、障板、擋油阱等,也能達到清潔真空要求。

      6、了解被抽氣體成分,氣體中含不含可凝蒸氣,有無顆?;覊m,有無腐蝕性等。選擇真空泵時,需要知道氣體成分,針對被抽氣體選擇相應的泵。如果氣體中含有蒸氣、顆粒、及腐蝕性氣體,應該考慮在泵的進氣口管路上安裝輔助設備,如冷凝器、除塵器等。

      7、真空泵排出來的油蒸氣對環境的影響如何。如果環境不允許有污染,可以選無油真空泵,或者把油蒸氣排到室外。

      8、真空泵工作時產生的振動對工藝過程及環境有無影響。若工藝過程不允許,應選擇無振動的泵或者采取防振動措施。

      9、當泵所需的真空度或氣體壓力不高時,可優先在單級泵中選取。如果真空度或 排氣壓力較高,單級泵往往不能滿足,或者,要求泵在較高真空度情況下仍有較大氣量,即要求性能曲線在較高真空度時較平坦,可選用兩級泵。如果真空度要求在-710mmHg以上,可選用水環-大氣泵或水環羅茨真空機組作為抽真空裝置。

      10、如果只作真空泵用,則選用單作用泵比較好。因為單作用泵的構造簡單,容易制造和維護,且在高真空情況下抗汽蝕性好。

      11、如果僅作較大氣量的壓縮機使用,則選用雙作用的泵比較合適。因為雙作用泵的氣量大,體積小,重量輕,徑向力能得到自動平衡,軸不容易產生疲勞斷裂,泵的使用壽命較長。

      12、真空泵的價格、運轉及維修費用。



      參考來源:百度文庫

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